電容敏感元件用于將被測壓力轉(zhuǎn)換為與之成一定關系的電輸出壓力傳感器。它通常使用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的電極。當薄膜感受到壓力并變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，與電壓成一定關系的電信號可以通過測量電路輸出。電容式壓力傳感器可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器。
  它由圓形薄膜和固定電極組成。薄膜在壓力的作用下變形，從而改變電容器的容量。其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比，與薄膜的張力和從薄膜到固定電極的距離成反比。另一種類型的固定電極呈凹形球形，薄膜為周圍固定的張緊平面，可采用塑料鍍金屬層制成。這種類型適用于測量低壓和高過載能力。高壓測量的單電容式壓力傳感器也可以用活塞動極膜片制成。這種類型可以減少薄膜的直接壓力面積，從而使用薄膜來提高靈敏度。它還與各種補償和保護部門和放大電路封裝在一起，以提高抗干擾能力。該傳感器適用于測量動態(tài)高壓和飛遙測。單電容式壓力傳感器包括傳聲器(即麥克風)和聽診器。
  它的壓力膜片電極位于兩個固定電極之間，形成兩個電容器。在壓力的作用下，一個電容器的容量增加，另一個電容器相應減小，測量結(jié)果由差動電路輸出。它的固定電極由凹曲玻璃表面的鍍金屬層制成。過載時，膜受到凹面的保護，不會破裂。差動電容式壓力傳感器靈敏度高，線性好，但加工困難(尤其是對稱性難以保證)，無法隔離被測氣體或液體，不適合在腐蝕性或雜質(zhì)流體中工作。